MEMS水声传感器，利用MEMS（微机电系统）技术设计制造的新型水声传感器。水声传感器是声呐装置的核心部件，声呐系统利用水声传感器来探测水下目标，水声传感器的性能直接影响声呐系统的性能优劣，因此高灵敏度、低功耗的水声传感器研发需求迫切，MEMS水声传感器研制受到关注。
　　水声传感器，声波在水中传播受到障碍物干扰产生散射波，通过检测散射波来实现障碍物位置与距离探测。水声传感器可以应用在海底测绘、海底资源勘探、水下导航、军事声呐等领域。受应用环境以及自身技术影响，传统水声传感器具有灵敏度低、定位精度低、可靠性低等问题。
　　MEMS传感器，即微机电传感器，可实现微机电系统感知并将机械信号转换为电信号。MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、性能稳定、成本低等优点，下游应用范围广泛。将MEMS技术与水声传感器相结合，可以缩小传感器的体积，提高传感器的灵敏度，减少传感器的能耗，降低传感器的生产成本，因此MEMS水声传感器拥有发展潜力。
　　2024年8月，我国发布国家重点研发计划“智能传感器”重点专项2024年度项目申报指南建议，提出针对水下广域监测、低照度环境成像等对高性能低成本水声传感器的迫切需求，研制高性能低成本MEMS水声传感器及阵列，在海洋监测、水下测绘、海洋牧场等领域应用验证。
　　我国已有MEMS水声传感器研究成果问世，例如2022年1月，中北大学与河北建筑工程学院团队模仿水母结构与发电原理，设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系统（MEMS）水声传感器，灵敏度达到-184.63dB，为低能耗、高灵敏度、低成本水声传感器制备提供新思路，相关成果以《一体化仿生结构压电MEMS水声传感器》为题发表于《微纳电子技术》。
   我国MEMS水声传感器相关研究机构还有东南大学、中船重工715所、中国电科第四十九所等。我国企业在MEMS水声传感器研发领域的布局速度也在加快。2025年3月，上海瀚界科技发展有限公司牵头承担的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“耐压低噪MEMS水声传感器”项目启动会暨实施方案论证会召开。这将推动我国MEMS水声传感器商业化发展步伐加快。