图表 2001-2015 年中国 IC 设备材料类公开/公告权利人排名

    美国的应用材料公司公开该领域中国专利最多，该公司优势明显，公开的专利在该领域累计数量达到 2527 件。在前十位的专利权人中中国大陆专利权人占据了较大比例，中国大陆共有七家专利权人排名进入前十，上海微电子装备有限公司位列第二，上海华虹（集团）有限公司位列第四，中芯国际集成电路制造有限公司位列第五，中微半导体设备（上海）有限公司、京东方科技集团股份有限公司、安集微电子（上海）有限公司和中国科学院微电子研究所分列第六到第九。除了美国和中国企业，排名前十专利权人中还有一家荷兰企业，ASML 荷兰有限公司位列第三，该领域专利数量累计达 1120 件。